Технология СБИС: В 2-х кн.
К.Могэб, Д.Фрейзер, У.Фичтнер, Л.Паррильо, Р.Маркус, К.Стейдел, У.Бертрем. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технодогия, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
సంపుటి:
Кн. 2
సంవత్సరం:
1986
ప్రచురణకర్త:
Мир Редакция литературы по новой технике
భాష:
russian
పేజీల సంఖ్య:
226
ISBN 10:
2403000000
ISBN 13:
9782403000009
ఫైల్:
DJVU, 6.56 MB
IPFS:
,
russian, 1986